一六仪器 测厚仪 多道脉冲分析采集,---efp算法 x射线荧光镀层测厚仪
应用于电子元器件,led和照明,家用电器,通讯,测厚仪,汽车电子领域.efp算法结合---定位决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题
软件算法
?大致分为3个方法。一个是制作测量线的方法(经验系数法)。这个方法是测定几点实际的已知厚度样品,镀层分析仪,寻求想测定元素的荧光x射线强度和厚度之间的关系,以其结果为基础测定未知样品取得荧光x射线,从而得到浓度值。
?另一个方法是理论演算的基础参数法(fp法)。这个方法在完全了解样品的构成和元素种类前提,利用计算的各个荧光x射线强度的理论值,测厚仪厂家,推测测定得到未知样品各个元素的荧光x射线强度的组成一致。
?nbs-gsc法也称作理论alpha系数法。它是基于荧光x射线激发的基本原理,从理论上使用基本物理参数计算出样品中每个元素的一次和二次特征x射线荧光强度的。基于此再计算lachance综合校正系数,然后使用这些理论α系数去校正元素间的吸收增强。它与经验系数法不同,这些校正系数是从“理论”上取得的,而非建立在“经验”上。因而它也不需要那么多的标样,只要少数标样来校准仪器因子。一六 荧光测厚仪 十年以上研发团队 集研发生产销售一体
元素分析范围:氯(ci)- ---(u) 厚度分析范围:各种元素及有机物
一次可同时分析:23层镀层,24种元素 厚度检出限:0.005um
x射线荧光光谱测厚仪 x射线的产生
x射线波长略大于0.5纳米的被称作软x射线。波长短于0.1纳米的叫做硬x射线。
产生x射线的简单方法是用加速后的电子撞击金属靶。撞击过程中,电子突然减速,其损失的动能(其中的1%)会以光子形式放出,形成x光光谱的连续部分,称之为制动辐射。通过加大加速电压,光谱膜厚仪,电子携带的能量增大,则有可能将金属原子的内层电子撞出。于是内层形成空穴,外层电子跃迁回内层填补空穴,同时放出波长在0.1纳米左右的光子。由于外层电子跃迁放出的能量是---化的,所以放出的光子的波长也集中在某些部分,形成了x光谱中的特征线,此称为特性辐射。
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1x射线激发系统垂直上照式x射线光学系统空冷式微---型x射线管,be窗标准靶材:rh靶;任选靶材:w、mo、ag等功率:50w(4-50kv,0-1.0ma)-标准75w(4-50kv,0-1.5ma)-任选x射线管功率可编程控制装备有安全防射线光闸
2滤光片程控交换系统根据靶材,标准装备有相应的一次x射线滤光片系统二次x射线滤光片:3个位置程控交换,co、ni、fe、v等多种材质、多种厚度的二次滤光片任选位置传感器保护装置,防止样品碰创探测器窗口
3准直器程控交换系统多可同时装配6种规格的准直器,程序交换控制多种规格尺寸准直器任选:-圆形,如4、6、8、12、20mil等-矩形,如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
4测量斑点尺寸在12.7mm---距离时,测量斑点尺寸小至为:0.078x0.0---(使用0.025x0.05mm准直器)在12.7mm---距离时,测量斑点尺寸大至为:0.38x0.42mm(使用0.3mm准直器)
5x射线探测系统封气正比计数器装备有峰漂移自动校正功能的高速信号处理电路
6样品室cmi900cmi950-样品室结构开槽式样品室开闭式样品室-样品台尺寸610mmx610mm300mmx300mm-xy轴程控移动范围标准:152.4x177.8mm任选:50.8mmx152.4mm50.4mmx177.8mm101.6x177.8mm177.8x177.8mm610mmx610mm300mmx300mm-z轴程控移动高度43.18mmxyz程控时,152.4mmxy轴手动时,269.2mm-xyz三轴控制方式多种控制方式任选:xyz三轴程序控制、xy轴手动控制和z轴程序控制、xyz三轴手动控制
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