一六仪器 测厚仪 多道脉冲分析采集,---efp算法 x射线荧光镀层测厚仪
应用于电子元器件,led和照明,家用电器,通讯,汽车电子领域.efp算法结合---定位决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题
薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的1~104的原子层或分子层。在此方向上,薄膜具有微观结构。
理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观的,其他的两维方向具有宏观大小。所以,表示薄膜的形状,一定要用宏观方法,即采用长、宽、厚的方法。因此,膜厚既是一个宏观概念,又是微观上的实体线度。
由于实际上存在的表面是不平整和连续的,而且薄膜内部还可能存在着、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等,所以,要严格地定义和测量薄膜的厚度实际上是比较困难的。膜厚的定义应根据测量的方法和目的来决定。
---模型认为物质的表面并不是一个抽象的几何概念,而是由刚性球的原子(分子)紧密排列而成,是实际存在的一个物理概念。
形状膜厚:dt是接近于直观形式的膜厚,通常以um为单位。dt只与表面原子(分子)有关,并且包含着薄膜内部结构的影响;
膜厚:dm反映了薄膜中包含物质的多少,测厚仪厂家,通常以μg/cm2为单位,它消除了薄膜内部结构的影响(如缺陷、、变形等);
物性膜厚:dp在实际使用上较有用,而且比较容易测量,它与薄膜内部结构和外部结构无直接关系,主要取决于薄膜的性质(如电阻率、透射率等)。
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二. 磁感应测量原理镀层厚度分析仪
采用磁感应原理时,利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小,来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小,来表示其覆层厚度。覆层越厚,则磁阻越大,磁通越小。利用磁感应原理的测厚仪,原则上可以有导磁基体上的非导磁覆层厚度。一般要求基材导磁率在500以上。如果覆层材料也有磁性,则要求与基材的导磁率之差足够大(如钢上镀镍)。当软芯上绕着线圈的测头放在被测样本上时,光谱分析仪,仪器自动输出测试电流或测试信号。早期的产品采用指针式表头,测量感应电动势的大小,仪器将该信号放大后来指示覆层厚度。近年来的电路设计引入稳频、锁相、温度补偿等地新技术,利用磁阻来调制测量信号。还采用---设计的集成电路,引入微机,使测量精度和重现性有了大幅度的提高(几乎达一个数量级)。现代的磁感应测厚仪,分辨率达到0.1um,允许误差达1%,量程达10mm。磁性原理测厚仪可应用来测量钢铁表面的油漆层,瓷、搪瓷防护层,塑料、橡胶覆层,镀层测厚仪,包括镍铬在内的各种有色金属电镀层,以及化工石油待业的各种防腐涂层。
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x射线荧光光谱分析可以非破坏性同时完成组分和厚度测试,厚度的测量范围视材料和元素而定,通常在1nm-50um之间。x射线荧光光谱法分析镀层与其常规定量分析法相比较,被测元素的特征x射线荧光强度不仅与镀层中待测元素和基材的组成有关,而且与厚度直接相关。能量色散x射线荧光光谱分析相对其他分析方法,具有无需对样品进行---的化学处理、快速,方便,测厚仪,测量成本低等明显优势,---适合用于各类相关企业作为过程控制和检测使用。是目前应用为广泛,具有速度快、无损化以及可实现多镀层同时分析等特点。
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